阴极溅射

金属覆盖方法之一。在高真空容器内，装有一对电极，镀件置于阴极附近，当施加以1 000～3 000伏高压电时，两极间产生辉光放电，真空容器中残余的气体分子离解为正离子和电子，正离子疾趋阴极，轰击阴极金属表面，使金属以微粒状态向周围溅射而沉积在镀件上。主要用于非导体表面被覆金属薄膜。